高壓控制設(shè)備的作用

靜電力驅(qū)動有著功耗低孤里、響應(yīng)時間短伏伯、宜于完成高頻率的驅(qū)動而且結(jié)構(gòu)易于實現(xiàn)的特點，從而廣泛應(yīng)用于微變形鏡捌袜、微型光譜儀说搅、微陀螺、微諧振器等MEMS器件虏等。然而采用靜電力驅(qū)動器件常常需要十分高的恒壓電源弄唧，所以可以設(shè)計一種高壓控制設(shè)備，滿足驅(qū)動要求霍衫，使得微機械傳感器的器件廣泛使用候引。

高壓控制設(shè)備的工作原理為：上位機根據(jù)相應(yīng)的公式計算出靜電力驅(qū)動所需的控制電壓，經(jīng)過USB敦跌，傳輸給數(shù)字信號處理器來控制D/A轉(zhuǎn)換芯片輸出澄干，D/A轉(zhuǎn)換后輸出電壓經(jīng)過高壓放大施加到微傳感器電極上。

高壓控制設(shè)備主要實現(xiàn)以下功能：

1柠傍、通訊功能：通過USB模塊實現(xiàn)微機械傳感器與上位機程序之間的數(shù)據(jù)傳遞麸俘。

2、控制功能：采用數(shù)字信號處理模塊按照傳輸數(shù)據(jù)控制轉(zhuǎn)換器輸出靜電力驅(qū)動所需電壓惧笛。

3从媚、放大功能：將電壓同步放大至滿足靜電力驅(qū)動所需范圍。

數(shù)字信號處理模塊由定點數(shù)字信號處理器TMS320F2812和D/A轉(zhuǎn)換器AD5381組成患整，其中2812具有高的處理速度拜效、強大的處理功能，時鐘頻率可達150MHz各谚，片上包含有128k的Flash紧憾、128k的ROM以及18k的RAM，滿足程序編寫的需要嘲碧，同時還包含豐富的外設(shè)接口和事件管理器稻励，十分適合于大批量數(shù)據(jù)處理的控制場合。而AD5381是一款理想的多通道數(shù)模轉(zhuǎn)換器愈涩，它具有40個數(shù)模轉(zhuǎn)換通道望抽，12位的分辨率，具備并行履婉、串行以及I2C三種數(shù)據(jù)傳輸方式煤篙，單通道轉(zhuǎn)換時間可以達到30ns，可以滿足模塊要求毁腿。

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